Πιθανολογείται πως βρίσκεται στην ίδια θέση με τον Αρχαίο Ναό του Δαφναίου Απόλλωνα. Με τα σημερινά δεδομένα πάντως είναι στην άκρη του Άλσους Χαϊδαρίου. Η Μονή είναι οχυρωμένη με αμυντικούς πύργους και ψηλά τείχη. Έχει δύο εισόδους, οι οποίες οδηγούν στον περίβολο. Στο κέντρο του περιβόλου βρίσκεται ο Ναός της Μονής, το επιβλητικό Καθολικό.

Όπως και τα περισσότερα βυζαντινά κτίσματα της ευρύτερης περιοχής της Αθήνας, το Καθολικό χρονολογείται από τον 11ο αιώνα. Εκεί γύρω διακρίνονται και άλλα κτίσματα, όπως τα αρχικά κελιά και η τραπεζαρία των μοναχών. Σε πολλά σημεία, ο εντυπωσιακός ψηφιδωτός διάκοσμος διατηρείται το ίδιο όμορφος με τότε. Κατά τον 19ο αιώνα, η Μονή Δαφνίου παρήκμασε, όταν εγκαταλείφθηκε από τους μοναχούς. Κατά τη διάρκεια της ζωής της, που ξεπέρασε τα χίλια χρόνια, αυτή και τα κτίσματα γύρω της ανακαινίστηκαν πολλές φορές. Μάλιστα, στα τέλη του 19ου αιώνα χρησιμοποιήθηκε και ως δημόσιο ψυχιατρείο.

Σήμερα, συμπεριλαμβάνεται ως Μνημείο στον Παγκόσμιο κατάλογο Πολιτιστικής Κληρονομιάς της Unesco.